在半导体制造和纳米技术领域，对材料的纯净度有要求。微量金属污染物的存在可能会严重影响产品的性能和可靠性。为此，日本Nasgiken公司推出了SC-9200微量金属污染物回收器，专为硅晶片表面和侧面的微量金属污染物收集而设计，以提高分析效率和准确性。
 

　　设备功能
 

　　SC-9200微量金属污染物回收器能够收集附着在硅晶片表面和侧面的微量金属污染物，非常适合每天分析5至10个晶圆的需求。该设备具备自动清洗盛装收集液体的容器的功能，降低人为污染的风险，并减少工作人员之间分析准确性的差异。此外，该设备还取得了晶圆侧面斜面复原以及晶圆表面亲水性恢复技术。
 

　　技术规格
 

　　根据Nasgiken的信息，SC-9200的操作控制可以通过电脑完成，支架具的装卸、采样液的供给和回收均能自动进行，从而减少操作员引起的污染。设备外形尺寸为690×550×790mm，重量为55Kg，所需外部资源包括电源(100～240VAC)、纯净水、N2、干洁气源。
 

　　应用场景
 

　　SC-9200微量金属污染物回收器主要应用于半导体制造过程中，对硅晶片进行表面和侧面的微量金属污染物分析。该设备适用于需要高精度和高效率分析的环境，如半导体制造厂、材料研究机构等。
 

　　结论
 

　　Nasgiken SC-9200微量金属污染物回收器以其高效的污染物收集能力、自动化操作和技术，为半导体制造领域提供了一种创新的解决方案。通过减少人为污染和提高分析准确性，SC-9200有助于提高半导体产品的质量和可靠性。