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200气压超高压汞灯技术——日本CCS 165-SHU UV光源的精密固化解决方案
更新时间:2026-03-07      阅读:76

核心技术

日本CCS 165-SHU采用200气压超高压汞灯技术,配合1mm短弧长设计,实现3800mW/cm²的超高辐射强度,专为精密UV固化与光刻工艺打造

关键参数

参数规格
灯管功率DC 165W
辐射强度3800mW/cm² @ 365nm
灯管寿命2000小时(至初始光量40%)
光谱范围315-420nm宽光谱
输入电源AC 95-240V通用
冷却方式强制风冷

核心优势

超高压技术:200气压产生极密集等离子体,电弧亮度远超传统汞灯
宽光谱输出:覆盖315-420nm,匹配多种光引发剂,适用复杂固化工艺
产线集成:配备外部控制接口,支持自动化系统联动

主要应用

  • 半导体光刻:功率芯片铝布线、MEMS结构、LED电极Pad的i-line曝光
  • 电子封装:环氧树脂、光敏胶快速固化
  • PCB制造:阻焊油墨高能量固化
  • 缺陷检测:365nm紫外荧光激发,识别表面微裂纹与污染

结语

165-SHU以中端成本实现接近设备的辐射强度,是半导体成熟制程与精密电子制造中替代昂贵DUV设备的务实选择,在Micro-LED与先进封装领域具有显著技术经济优势。


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