OKANO 冈野制作所的 AMC-202N 系列微线圈真空计,是基于
热传导原理的新一代皮拉尼式真空测量仪器,以
微线圈传感、宽量程测量、高抗振性、智能自清洁为核心技术优势,专为半导体、实验室、真空设备等场景提供从低真空到粗真空的稳定、可靠监测方案,解决传统热传导真空计易断丝、温漂大、抗污差的行业痛点。
一、核心工作原理:微线圈热传导传感机制
AMC-202N 属于热传导型真空计,核心基于气体分子热传导率与真空度的关联特性。传感器内置微型线圈状灯丝,通电后维持恒定温度,真空环境中气体分子密度越低,带走灯丝热量越少,电阻变化越小;反之气体密度越高,热量散失越快,电阻变化越显著。电路通过实时检测灯丝电阻值,换算为对应真空压力值,实现5.0×10⁻²~1.0×10⁵Pa的宽范围连续测量。
相比传统直丝式皮拉尼计,其微线圈结构大幅提升灯丝机械强度,配合散热片(Thermal Sink)恒温结构,减少环境温度波动对测量的干扰,兼顾测量精度与环境适应性。
二、关键技术参数与结构设计
| 参数项 | 核心指标 | 技术价值 |
|---|
| 测量范围 | 5.0×10⁻²~1.0×10⁵Pa | 覆盖低真空至粗真空,单台替代多量程设备 |
| 测量精度 | 中量程 ±20%,高低量程 ±30% | 工业级精度,满足常规真空监测需求 |
| 传感器结构 | 微型线圈灯丝 + 散热片 | 抗振抗冲击,降低温漂,提升稳定性 |
| 显示方式 | 7 段 LED 红色数码管 | 2 位尾数 + 2 位指数,读数直观清晰 |
| 响应速度 | 测量周期 100msec | 实时捕捉压力波动,适配动态工况 |
| 安装形式 | 一体型 / 分离型可选 | 适配桌面、面板、设备集成多场景 |
| 接口配置 | USB 通信、0-5V 模拟输出、Hi/Go/Lo 接点 | 数据记录、远程控制、联动控制便捷 |
| 电源 | DC12-24V / 可选电池组(20 小时续航) | 固定 / 便携两用,现场维护更灵活 |
| 传感器接口 | NW16、φ18、φ15、VCR、R3/8 五种 | 适配各类真空腔体,安装通用性强 |
三、核心技术优势
微线圈设计,抗振抗冲击摒弃传统极细直丝,采用
微型线圈状灯丝,机械强度提升数倍,解决传统皮拉尼计易因振动、冲击断丝的问题。在真空泵运行、设备运输、工业产线等高振动场景中,仍能稳定工作、无断丝风险,显著延长传感器寿命。
宽量程单台测量,减少设备冗余单台实现 **5.0×10⁻²Pa(0.5mPa)至 1.0×10⁵Pa(大气压)** 全量程覆盖。相比传统皮拉尼计量程窄、需多台组合的局限,AMC-202N 单台满足从真空抽气到破真空全过程监测,简化系统配置、降低成本。
散热恒温 + 冲洗功能,环境适应性强
紧凑模块化,安装与使用灵活显示单元仅
72×42×50mm,小巧省空间。支持
传感器一体型(直接安装)与
分离型(电缆连接,远程显示)两种模式,适配桌面摆放、设备面板嵌入、腔体侧装等多种场景。可选电池组供电,便携巡检、临时测量无需外接电源。
智能功能丰富,适配工业与科研内置
1-9 秒可调移动平均功能,平滑压力波动数据,提升读数稳定性;标配 USB 通信与专用软件,可实时显示、记录、导出数据,支持零点与量程校正;三路接点输出(Hi/Go/Lo)可直接联动真空泵、阀门,实现真空系统自动控制。
四、典型应用场景
半导体与电子制造:晶圆镀膜、刻蚀、封装设备真空监测,抗污染、高稳定,保障工艺一致性。
真空设备与工业炉:真空干燥、热处理、钎焊炉全程压力监控,宽量程适配抽气至保压全流程。
科研实验室:物理、材料、化学实验真空系统测量,便携灵活、数据可追溯。
分析仪器与医疗设备:质谱仪、电子显微镜、真空灭菌设备高精度真空监测,抗振可靠。
航空航天与汽车:真空部件测试、检漏、环境模拟设备,适配复杂工况与振动环境。
五、技术总结
OKANO 冈野 AMC-202N 系列以微线圈传感技术为核心,融合宽量程、高抗振、自清洁、灵活安装四大优势,重新定义热传导式真空计的性能边界。相比传统皮拉尼计,它在可靠性、适应性、功能性上实现质的飞跃,既保留热传导式结构简单、成本适中的优点,又突破易断丝、量程窄、温漂大、易污染的短板。
对用户而言,AMC-202N 是高性价比、全场景适配的真空测量解决方案:工业产线用它稳定耐用、少维护;实验室用它灵活便携、数据精准;设备集成用它紧凑模块化、易控制。作为冈野制作所的经典机型,其日系精工品质与实用技术设计,使其成为中低真空测量领域的优选设备,助力各行业真空工艺稳定、高效、可靠运行。