特征

达到0.01μm（10 nm）的分辨率

测量指令精度为±0.1μm。提供亚微米管理环境。

实现出色的平直度和可重复性

*的可移动方法使砧座平稳移动，从而可以进行高精度的测量。

可以用恒定的测量力进行测量

在测量范围内的任何位置均具有恒定的测量力。可以防止由于工作尺寸的差异而导致的测量误差。
此外，客户可以轻松更改测量力。

测量用法示例

参考

实际测量示例介绍