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日本ACE排气压力控制器EPS5000 series
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更新时间:2024-05-12  |  阅读:2037

详情介绍

日本ACE排气压力控制器EPS5000 series

日本ACE排气压力控制器EPS5000 series

 

主要用途

  • ♦单晶圆清洗设备的腔室压力控制
  • ♦清洁送风室和清洁卡车室的压力控制
  • ♦受排气管压力波动影响的设备和工艺
  • ♦液晶气刀罐排气压力控制
  • ♦洁净室的排气压力控制

规格
可从5A开始
物品EPS-5200EPS-5150EPS-5100
连接管口径200A150A100A
流量范围(一次侧)0.5至15 Nm3 /分钟0.5-10 Nm3 /分钟0.3-5 Nm3 /分钟
如果流量小于最小流量,则可能无法达到设定压力。
压力损失50 Pa at 15 Nm3 / min(空气)10 Nm3 / min时20 Pa以下(空气)10 Nm3 / min时20 Pa以下(空气)
控制阀连接200A管道150A水暖100A管道输出
调整压力范围(一次压力)-50至-999Pa(取决于与大气压和二次​​压力的压差)
二次压力(阀门下游压力)(控制压力-50)Pa以下
如果压差小于此值,则主要调节范围将变窄。
压力精度满量程的±2% 
控制纹波(稳定控制期间的变化)满量程的±1%(在二次压力波动的±10 Pa内)
耐压(一次压力)50kPa以内(与大气压的压差)
反应性在2秒钟内达到设置的98%(典型值)
流体温度10-50℃
主机环境温度(精度保证温度)15-35℃
电源电压24V DC±10%
外部输出压力信号:1-5V DC
报警:NPN晶体管集电极开路DC 30V <100mA
控制器(CD-100)现场设置或外部设置均可切换
外部设定信号压力设定信号:4〜20mA
阀门:强制打开,控制
(选件)控制/打开(C / O):24V DC ON / OFF
报警信号压差(可选设置)
身体异常(包括压力控制器异常)
串行通讯RS485
供气(N2)压力0.3±0.1兆帕
每个端口Φ6mm一触式(阀门,电动气动部分)
Φ4mm一键式(用于压力测量)
阀门的供应管道是可选的
气体接触材料PVC,Viton,EPDM
安装姿势自由
控制阀状态电源关闭时保持阀状态
 
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