日本pureron排气过滤器FBA系列

日本pureron排气过滤器FBA系列

排气过滤器　FBA系列

制造半导体元器件装置在装填-闭锁真空室（load-lock chamber）和传送室（transfer chamber）里进行真空破坏，那时候浮粒子会卷起来和发生过渡性乱流，这些都会导致晶片损坏。跟以往的方法：把氮气缓慢地吹进到室内—相比，只用FBA排气过滤器就能够避免那样现象且提高生产率。

特点

• 全材质用不锈钢SUS316L
• 优良的耐热性
• *过滤精度
• 圆筒型过滤体可以从顶端和周围都排气

特点

• 全材质用不锈钢SUS316L
• 优良的耐热性
• *过滤精度
• 圆筒型过滤体可以从顶端和周围都排气

特点

• 全材质用不锈钢SUS316L
• 优良的耐热性
• *过滤精度
• 圆筒型过滤体可以从顶端和周围都排气

• 特点

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• 全材质用不锈钢SUS316L
• 优良的耐热性
• *过滤精度
• 圆筒型过滤体可以从顶端和周围都排气

• 特点

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• 全材质用不锈钢SUS316L
• 优良的耐热性
• *过滤精度
• 圆筒型过滤体可以从顶端和周围都排气