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日本pureron超高纯度小型气体净化器GP/GPF系列
日本pureron超高纯度小型气体净化器GP/GPF系列
超高纯度小型气体净化器 GP/GPF系列
| 净化能力 | 杂质:1PPB以下 出口侧杂质合计:10PPB以下 (和条件相关) |
|---|---|
| 材质 | 外罩:SUS316L 電解研磨 R max 0.7μm以下 滤材:SUS316L 净化剂:金属・吸气剂、其它 |
| 流量范围 | 0.5LPM~20LPM(随类型/压力条件变化) |
| 使用压力 | 0.97MPa(140.65PSIG) |
| 使用温度 | 室温或者350~400℃(随用途变化) |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa・m3/sec 以下 |
| 连接零件 | 1/4"、3/8" Gasket seal、 Compression seal |
超高纯度气体净化器能够高效率除去惰性气体和特种气体中的水分、氧气、碳氢化合物等杂质。