日本hrd热范围TM3

日本hrd热范围TM3

特征

• 热物理特性显微镜是一种测量热效率的设备，热效率是热物理特性值之一。
• 它是一种可以通过点，线和表面来测量样品的热性能的设备。
• 还可以测量微米级的热物理性质分布，这在常规的热物理性质测量装置中被认为是困难的。
• 它是一台可对热物理性质进行非接触式和高分辨率测量的设备。
• 检测光斑直径为3μm，可在微小区域内进行高分辨率的热物理性质测量（点/线/面测量）。
• 由于可以通过改变深度范围进行测量，因此可以测量从薄膜/多层膜到块状材料。
• 您也可以在板上测量样品。
• 激光非接触式测量。
• 可以检测薄膜下方的裂缝，空隙和剥离。

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热物理显微镜的测量原理（概述）

在样品上形成金属薄膜，并用加热激光器定期加热。

1. 由于金属的反射率具有随表面温度而变化的性质（热电阻法），因此通过捕捉与加热激光同轴照射的检测激光的反射强度的变化，来测量表面的相对温度变化。 。
2. 热量从金属薄膜传播到样品，导致表面温度响应的相位延迟。该相位延迟取决于样品的热性质。通过测量加热光和检测光之间的相位延迟来获得热效率。

主要规格