减压兼容浸涂机

兼容减压环境的类型，可以浸入真空手套箱中。
通过在减压下浸渍，涂布液的表面张力降低，并且工件的表面自由能相对增加，这改善了涂布液的流平性，并以复杂的形状涂布工件。

*手套箱需要单独的真空兼容连接。