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日本sanyu electron桌面涂布机SC-701MC
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更新时间：2024-05-14  |  阅读：2092

详情介绍

日本sanyu electron桌面涂布机SC-701MC


特征

  • 使用磁控阴极减少离子损伤

  • 排气 → 涂层 → 全自动直至向大气开放

  • 磁控阴极有助于生产高质量的溅射薄膜

  • 电极用溅射薄膜可轻松镀膜



应用/结果示例

  • 适用于各种设备的电极膜附件

  • 用于制造反射薄膜等

日本sanyu electron桌面涂布机SC-701MC

基本规格

阴极φ2 英寸直流磁控管 / 2 极面对电极
目标包括 Au 目标
膜厚设定方法预设方法/带膜厚监视器的数字显示
气体引入机制针阀
真空泵直联回转泵：20l/min（带自动漏气）
排气操作自动的
腔室尺寸内径 φ120 mm x D120 mm（SUS 制）
样品交换方式前门开闭式
尺寸（宽/深/高）主体：225/420 / 320mm
RP：300/160 / 200mm
重量身体：15kg
RP：9kg


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