单组分密度计的特点

实时浓度测量成为可能，并且易于构建浓度控制系统。

• 标配模拟DC4-20mA和数字RS232C

• 标配测量误差输出和报警输出

• 标配自诊断功能和错误信息显示

• 紧凑轻便的单元式变送器可直接安装在线路上

• 由于使用 PFA 的接液部件的质量和小输出设计，对化学溶液没有影响。

优点

• 可进行高精度连续测量

• 免维护，无需定期调整和校准

• 安装方便，安装过程中无需进行各种调整

• 通过实时输出轻松反馈过程

用途

• CMP工艺中的CMP浆料或氧化剂浓度控制等。

• 稀释过程中各种化学品的浓度控制（H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等）

• 清洗过程中清洗液浓度控制（HF、NH4OH、KOH、IPA等）

• 蚀刻过程中蚀刻液浓度控制（HF、H2SO4等）