1. 产品概述

2. 核心技术参数

• 测试原理：四探针法（直线四探针法 / 范德堡法可选）

• 测试范围：电阻率 10⁻⁵ ~ 10⁶ Ω・cm，方阻 10⁻⁴ ~ 10⁵ Ω/□

• 测试精度：±0.5%（满量程），重复性 ±0.1%

• 探针配置：直线四探针，标准间距 1.0mm（可定制）

• 探针压力：5g ~ 200g 连续可调

• 测试电流：1nA ~ 100mA 多档位自动切换

• 数据接口：RS232C/USB，支持数据导出与上位机连接

• 供电规格：AC 100~240V，50/60Hz，全球通用宽电压

• 适用样品：硅晶圆、ITO 薄膜、导电玻璃、半导体薄膜、金属薄膜等

3. 日本 NPS  四探针电阻测试仪sigma-5 + 产品核心特点

1. 高精度测试：±0.5% 满量程精度，满足半导体、显示面板等行业的高精度检测要求

2. 宽量程覆盖：适配从金属薄膜到半导体材料的全品类导电性能测试

3. 多模式测试：支持直线四探针法、范德堡法，适配不同形状、厚度的样品

4. 自动化操作：支持多点扫描、自动升降探针、自动数据记录，提升批量检测效率

5. 高适配性：可适配 4/6/8 英寸硅晶圆、玻璃基板、柔性薄膜等各类样品

6. 稳定可靠：工业级硬件设计，抗干扰能力强，可在实验室、产线环境长期运行

4. 适用场景

5. 安装、使用与售后

• 安装说明：设备为台式分体式设计，按规范连接主机与测试台，放置于平稳工作台，避免震动

• 使用维护：定期校准探针与测试系统，清洁探针与样品载台，保障测试精度

• 售后服务：提供专业安装调试、操作培训、校准服务，原厂技术支持与配件供应

• 包装运输：采用防震、防潮包装，保障设备运输过程中不受损伤