一、核心性能与技术特点

1. 双路独立高压输出提供 + 1KV 与 - 1KV 两路独立可调输出，电压范围 0~±1KV，电流范围 0~±100mA，可同时驱动静电卡盘的正负电极，实现晶圆稳定吸附，适配不同工艺需求。
2. 极性平滑反转功能内置极性反转电路，可实现输出极性的平滑切换，避免电压突变导致的晶圆损伤或工艺异常，支持晶圆的无冲击、平滑剥离，保障工艺良率。
3. 多方式控制与通讯内置工业通讯接口，可直接接入现场总线网络，实现远程控制与数据采集；同时支持模拟电压控制，适配传统控制方式与自动化产线集成。
4. 紧凑高稳定设计采用紧凑型机架尺寸，大幅节省机柜安装空间；纹波含量控制在 1% rms 以内，800V~1KV 区间输出误差不超过 ±1%，可提供稳定的高压输出，保障静电卡盘的吸附均匀性与工艺重复性。

二、规格参数

三、静电卡盘专用 ±1KV 高压双路电源 应用场景

• 半导体制造：晶圆工艺中静电卡盘的吸附与剥离供电；

• 面板显示工艺：玻璃基板静电固定工艺；

• 精密工业设备：需要高压静电吸附 / 固定的自动化产线设备；

• 科研实验：需要双路高压输出、极性反转的静电相关实验。