详情介绍
无活动部件设计
采用无活动部件的简洁结构,大幅提升设备耐用性与稳定性,减少维护需求,适配高纯度液体回路的长期连续运行,避免因部件磨损导致的污染或测量误差。
高精度宽量程测量
低压损设计,可在宽广的流量范围内实现稳定、高精度测量,满足不同工况下的流量监控需求,同时降低对工艺流体的压力影响。
强磁场环境适应性
特殊设计使其可在强磁场环境中正常使用,适配半导体制造等存在强磁场干扰的特殊工况,确保测量数据的准确性与稳定性。
高纯度流体兼容
与液体接触的部分采用适配高纯度液体的材质,专为超纯水、化学品回路设计,可避免污染工艺流体,保障生产工艺的纯度要求。
| 项目 | 规格详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | SAGInoMIYA QLK 系列 |
| 测量原理 | 卡门涡街式 |
| 电源电压 | DC3V(单 3 形电池 ×2,无输出) |
| 公称通径 | 15A / 20A(对应 DN15 / DN20) |
| 最高使用压力 | 15A:0.6MPa;20A:0.5MPa |
| 适用介质 | 超纯水、高纯度液体 |
| 工作环境 | 强磁场环境可稳定运行 |
半导体晶圆制造工艺中的超纯水、化学品回路流量监控
液晶面板生产线的高纯度液体流量管理
电子行业高纯水制备系统的流量监测
制药行业工艺液体流量控制(拓展应用)