一、日本 EKUSA EHS 型半导体用超纯水在线加热器 产品概述

二、核心性能特点

1. 高纯度流体兼容，无金属污染

   接液部分全部采用 PFA 材质，无金属部件接触流体，可耐受超纯水、等腐蚀性药液，不会造成流体污染，满足半导体行业的高纯度工艺要求。

2. PID 精准控温，流量适应性强

   采用 PID 自动温控系统，温度精度可达 ±1℃，流量波动时温控稳定性优异；低表面温度加热设计，避免流体局部过热分解，保证流体品质稳定。

3. 高可靠性工业设计，安全防护

   常用最高压力 0.4MPa、温度 150℃，内置漏液传感器、超温保护、停电保护功能，停电重启时温度上升仅约 10℃，高温工况也可安全运行；加热器采用低温设计，寿命接近半，无需频繁更换。

4. 易维护与远程控制适配

   紧凑型立式结构，占地面积小，安装维护便捷；支持外部信号远程控制，可接入自动化生产线，实现远程温控与监控。

三、技术参数

四、日本 EKUSA EHS 型半导体用超纯水在线加热器 适用场景

• 半导体 / 电子行业：晶圆清洗超纯水加热、光刻胶溶剂加热、蚀刻液 / 清洗液温控

• 精密电子制造：液晶面板、半导体封装工艺中的高纯度药液加热

• 化工行业：腐蚀性溶液、有机溶剂的无金属污染加热

• 工艺自动化：连续生产线中流体的在线加热与温控