一、日本 analyzer OA-Ⅰ 系列 洁净气体氧气浓度计 产品基础信息

二、核心规格参数

三、产品核心性能优势

1. 洁净无析出专用气路，适配半导体无尘制程高纯气体检测

整机内部采样管路全部选用低析出洁净材质，运行过程不会释放油污、细小颗粒物，不会对晶圆、芯片生产用高纯氮气、氩气造成二次污染，满足无尘车间气体洁净管控标准，普通工业氧分析仪气路材质无法匹配洁净制程需求。

2. ppm级微量低氧传感芯体，精准捕捉管路微量氧泄漏杂质

针对高纯惰性保护气体场景优化电化学电极结构，可稳定识别管路内几十至千ppm区间微量氧杂质，及时反馈气体纯化设备失效、管路接头微泄漏问题，提前规避高温工艺下晶圆、电子元件氧化批量不良。

3. 低流量精密采样泵，低压洁净管路平稳取样不干扰产线

内置带限流结构的精密隔膜采样泵，适配无尘车间低压高纯气体输送管线，取样气流流速稳定可控，不会在主管路形成负压波动，不影响前端气体纯化机组、工艺炉供气压力平衡。

4. 台式防滑一体化机身，无尘操作台便捷摆放布置

整机底部配置防滑支撑底座，无需额外壁挂支架，可直接放置在洁净车间工艺操作台、设备机柜台面，机身占用空间紧凑，布线、标准气校准操作无需挪动大型工装，适配洁净车间紧凑设备布局。

5. 两点微量标准气体校准，长期洁净工况测量重复性稳定

设备搭载适配微量低氧场景的标准化两点校准流程，操作人员按面板文字指引，通入超高纯氮气与对应量程微量氧标气即可完成零点、量程标定，有效抵消传感芯体缓慢老化、车间温变带来的测量偏差，整月连续监测数据波动幅度可控。

6. 模拟+数字双路工业信号，接入无尘车间全自动中控系统

同时兼容4~20mA模拟电流、RS485 Modbus数字通讯协议，可无缝对接无尘车间PLC、MES生产管理系统，实时上传各纯化管路微量氧数值，绑定每一批次晶圆、光伏电池生产数据，满足电子制造行业客户审厂追溯硬性要求。

7. 超限继电器联动输出，超标自动切断含杂质风险气源

用户可根据电子工艺规范设置微量氧允许上限，管路氧杂质超出标准区间时，设备同步触发本地声光告警与继电器触点动作，可直接联动高纯气体进气阀门、扩散炉供气回路，自动切断不合格气源，降低批量产品报废损耗。

四、日本 analyzer OA-Ⅰ 系列 洁净气体氧气浓度计 适用行业与应用场景

• 半导体晶圆制造产线：退火炉、刻蚀机、离子注入设备高纯氮/氩保护气管路ppm微量氧杂质全天在线监测

• 光伏电池生产车间：管式扩散炉、钝化炉高纯惰性载气输送管路氧含量持续闭环管控

• 半导体芯片封装制程：真空焊接、固晶设备洁净保护气体管路微量氧实时检测

• 高纯气体纯化配套质检：氮气、氩气纯化机组出口洁净成品气体氧杂质在线监控

• 精密材料分析实验室：电子材料、薄膜样品实验高纯惰性气氛管路氧浓度监测

• 光学真空镀膜产线：光学镜片、光学膜层镀膜设备洁净氩气载气管路微量氧杂质管控