型号：3
更新时间：2026-07-07 | 阅读：168
详情介绍
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | Apollowave MJ-8（8mm）、MJ-10（10mm）小型桌面真空手动探针台 |
| 腔体结构 | 迷你一体化不锈钢密封真空腔，搭配干式泵实现低真空，支持惰性保护气体置换 |
| 承载规格 | MJ-8最大8mm小片；MJ-10最大10mm方形基板、微型裸芯片、薄膜样品 |
| 平台结构 | 腔体内置三轴微米微分手动微调平台，纯手轮控制，无电动驱动部件 |
| 视觉系统 | 腔体侧置光学观测窗，可选配微型CCD工业相机投屏显微观测腔内状态 |
| 核心应用 | 高校二维材料、微型光电器件、微型MEMS小片真空无氧环境手动探针科研测试 |
| 参数项 | 标准规格 |
|---|---|
| 真空性能 | 适配小型干式真空泵，腔体密封泄漏率低，可填充氮气、氩气隔绝氧水汽 |
| 载片结构 | 微型真空吸附陶瓷载片台，可拓展简易冷热半导体制冷加热温控载片 |
| 操作模式 | 全手动微分手轮三轴调节，仅适合单点、少量微型样品反复调试实验 |
| 信号传输 | 小型低放气真空密封射频、直流馈通端子，不破坏腔体真空度传输测试信号 |
| 探针兼容 | 微型GSG真空射频探针、单/多通道直流真空探针通用适配 |
| 拓展配置 | 干式真空泵机组、简易冷热温控载片、微型CCD成像显示套件、探针清洁组件可选加装 |
| 机身特点 | 超小型轻量化台式腔体，占用操作台面积极小，实验室紧凑布局友好 |
| 适用工况 | 高校间歇式科研教学实验、微小样品单点失效精细分析，不适合大批量、大尺寸晶圆测试 |
整机体积大幅压缩，无需专用大型设备台，常规实验室小型操作台、桌面工作台直接放置，适配仪器密集摆放、空间有限的高校教室与小型前沿科研工位。
无大尺寸晶圆冗余行程，腔体、三轴行程匹配毫米级微小样品，不兼容6/4英寸晶圆，聚焦二维材料、微型光电探测器等前沿科研小样，设备采购投入更低。
迷你不锈钢密封舱搭配干式真空泵，可抽真空或通入惰性保护气体，隔绝氧气、水汽，二维材料、微型光电器件测试过程不会出现表面氧化、暗电流升高、发光衰减，完成大气探针台无法开展的基础科研实验。
三轴配备高精度微分刻度手轮，位移细分至微米级，针对毫米级薄膜、微型芯片电极可缓慢精细调整扎针点位，便于多组对比实验、故障芯片失效点位定位分析。
整机配套低挥发、低放气真空密封馈通与微型真空专用探针，无透气间隙，连续数小时真空实验腔体真空度无持续衰减，无需频繁启停真空泵维持氛围。
微型载片台可加装简易制冷加热温控模块，在无氧真空环境下完成低温至中温区间器件温变电学、光电特性测试，无需拆分多台设备搭建实验平台。
整机无电机、伺服、工控自动化系统，硬件结构极简，初始采购成本远高于中型真空半自动探针台；无电动易损件故障，日常仅需清洁腔体、润滑导轨，维护工作量与耗材成本大幅降低。
高校二维材料科研实验室：石墨烯、二维半导体薄膜真空电学输运、气敏特性教学与基础科研实验
微型光电子研发团队：微型光电探测器、微型LED裸片真空无氧化暗电流、光谱响应度测试
微型功率分立器件实验室：微型MOS、二极管小片真空高低温漏电、击穿特性摸底实验
MEMS微型传感研发工位：微型压力、加速度MEMS结构真空位移-电学耦合特性测试
前沿微电子教学实验室：真空半导体特殊环境教学演示、微小流片工艺样品性能验证
器件失效分析工位：拆解后微型故障裸片单点精细探针定位故障根源分析
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