一、Bunkoukeiki KV-200 真空极紫外光谱仪 产品基础信息

二、核心规格参数

三、产品核心特点

1. 全真空密封光路，解决120–200nm深紫外空气吸收难题

120–200nm深紫外光会被空气中氧气吸收，整机一体化真空密封光路，无需持续氮气吹扫，真空环境下可稳定采集极紫外光谱，基线平稳无吸收干扰。

2. 专用氟化镁VUV光学组件，深紫外透光损耗极低

光栅、透光窗口全部采用氟化镁基底材质，对比普通石英紫外光谱仪，在120–300nm波段透光性能大幅提升，弱信号等离子、超薄薄膜样品也可获得高信噪比光谱曲线。

3. 紧凑型台式真空箱体，小型真空实验室灵活部署

分光光路与真空密封舱集成一体，整机体积小巧，无需搭建大型真空分光平台，台式等离子实验台、小型薄膜真空镀膜产线均可配套使用。

4. 程控双模式波长控制，适配静态样品与动态等离子监测

软件支持全波段连续光谱扫描用于静态样品全光谱分析；也可锁定单一特征波长长时间采集，监测等离子放电、薄膜变温过程光学参数动态变化。

5. 标准化真空法兰，兼容市面主流真空实验腔体

入射、出射端采用通用工业真空法兰，可直接对接等离子放电腔体、真空薄膜沉积设备、同步辐射光束管线，无需定制转接工装，现场管路搭建便捷。

6. 可更换多规格光栅，分辨率按需切换

提供多种刻线密度替换光栅，高刻线光栅实现精细高分辨率光谱分析；低刻线光栅适配宽波段快速扫描，兼顾实验分辨率与检测效率。

7. 防腐金属真空腔体，耐紫外老化、微量腐蚀真空尾气

腔体采用特种合金密封结构，长期极紫外光照不会老化漏气，可适配稀有气体等离子、微量腐蚀尾气真空实验工况。

8. 配套原厂校准标样，波长精度可溯源，满足实验室合规归档要求

配套标准紫外校准光源标样，可定期完成整机波长精度校验，光谱数据可用于学术论文、企业研发质检报告，计量合规完整。

四、适用行业与应用场景

• 半导体光电实验室：深紫外光刻薄膜、氟化镁光学基底、UV发光器件真空紫外透射/反射光谱质控；

• 等离子体科研平台：稀有气体放电等离子体极紫外发射光谱分析，监测等离子组分、电子温度动态变化；

• 同步辐射光束线实验室：真空紫外分支光束分光、光束能量分布标定、光束线光学元件损耗检测；

• 真空镀膜薄膜研发：深紫外介质薄膜、航天光学窗口镀膜真空紫外光学性能测试；

• 高校原子分子物理实验室：原子分子真空紫外吸收、激发态能级光谱基础科研与教学实验；

• 航天光学检测实验室：空间深紫外探测镜头、航天光学元件模拟太空真空环境性能测试。