一、Canon Anelva M-336MX 水晶离子计 真空计 产品基础信息

二、核心规格参数

三、产品核心特点

1.石英水晶腔体适配严苛等离子工况

相较普通硼硅玻璃，石英抗离子轰击、耐化学腐蚀能力更强，可长期用于溅射、反应刻蚀环境，不易被工艺沉积物损伤。

2.无灯丝冷阴极结构，无惧突发破真空

不存在易熔断的热灯丝，腔体意外漏气进气不会损坏规管，适配启停频繁的工业产线，降低耗材成本。

3.极低放气适配无油真空系统

石英材料出气量极低，适配离子泵构建的超高真空体系，不会污染真空腔内样品、光学元件。

4.兼容现有安内尔巴测控系统

可直接对接已有真空计主机，复用报警、通讯、联锁功能，旧设备升级成本低。

四、适用行业场景

• 真空镀膜：磁控溅射、反应镀膜腔体真空监测；

• 半导体：等离子刻蚀、沉积工艺真空测控；

• 科研仪器：SEM、XPS、真空光谱仪超高真空采集。

五、标准操作流程

1. KF法兰密封安装探头，信号线接入真空测控主机；

2. 腔体预抽达标后启动冷阴极供电测量；泄压无需关闭灯丝，直接开启进气阀即可。

六、Canon Anelva M-336MX 水晶离子计 真空计 日常维护规范

1. 定期清洗腔体内壁镀膜沉积物；更换法兰密封圈；避免硬物磕碰石英腔体。