ASM401N 小型UV臭氧清洗机｜紫外臭氧表面处理机

日本 ASM ASM401N 小型 UV 臭氧清洗机 紫外臭氧表面处理机 产品简介：ASM401N是日本ASM推出的小型UV臭氧清洗机，属于紧凑型干式表面处理设备，适合实验室小尺寸试样的前处理工作。设备依靠低压紫外灯管输出185nm与254nm双波段紫外光线，185nm紫外光激发空气中氧气生成臭氧，254nm紫外光直接破坏有机物分子链，二者协同发生光氧化反应，分解样品表面油脂、手印残留、有机杂质，在完成清洗的同时实现材料表面亲水化改性，有效提高后续镀膜、粘接、涂层的结合力。整机采用台式小型箱体结构，占地面积小，直接放置于实验台即可使用，不需要复杂配套。设备配置密闭处理腔体，将试样放入腔体内部样品平台，设置处理时间即可启动工作；配备臭氧排气接口，可以外接臭氧尾气处理装置，减少臭氧扩散，保障实验人员安全。全程无需有机溶剂，没有化学废液产生，工艺重复性好，广泛用于光电、半导体、薄膜材料、高分子以及高校科研院所的样品预处理。

日本 ASM ASM401N 小型 UV 臭氧清洗机 紫外臭氧表面处理机 技术参数

产品核心优势

• 日本ASM原厂ASM401N小型UV臭氧清洗机，体积小巧，节约实验室台面空间；

• 双波段紫外与臭氧协同作用，高效去除基板有机残留，同时完成亲水化表面改性；

• 干式清洗方式，不使用化学溶剂，无废液，更加环保，简化实验操作流程；

• 定时运行，处理时间精准可调，实验工艺可复现，适合科研标准化样品处理；

• 密闭腔体搭配排气接口，可对接臭氧处理装置，降低臭氧泄漏风险；

• 结构简单，灯管拆装更换便捷，维护成本低，适合小批量试样反复处理。

典型应用领域

光电半导体领域小尺寸硅片、ITO导电玻璃、石英基板有机污染物去除；薄膜涂层实验基底预处理，提升薄膜附着力；高分子材料亲水化表面改性；高校及科研院所材料、化学、光电方向课题试样前处理；企业研发实验室各类样品干式表面清洗改性。