ADTEC TX系列高周波射频电源｜等离子工艺射频发生装置

日本 ADTEC TX 系列高周波射频电源 13.56MHz 等离子射频电源 产品简介：TX系列高周波射频电源是日本ADTEC面向半导体与真空工艺开发的射频功率发生设备，主流输出频率13.56MHz，是等离子工艺的核心供电单元。设备具备自动阻抗匹配能力，当腔体负载发生波动时，自动完成匹配调节，保障输出功率稳定，减少工艺波动。主机配置LCD显示面板，操作人员在本地即可完成功率参数设置，实时读取实际输出功率、设备运行状态，出现故障时直接输出故障代码，便于排查问题。整机集成多重安全防护机制，遇到过载、过温、功率超限等异常情况，会触发报警并停机，避免设备损坏。设备预留通讯接口，可对接上位机系统，实现远程启停、功率参数修改，适配自动化产线集成。采用标准机架式机箱，方便安装于设备机柜内部，广泛配套溅射镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、PVD/CVD薄膜沉积等各类真空设备，是半导体、新材料研发生产环节重要的射频电源设备。

日本 ADTEC TX 系列高周波射频电源 13.56MHz 等离子射频电源 技术参数

产品核心优势

• 日本ADTEC原厂TX系列射频电源，专为真空等离子工艺设计，功率输出稳定性高；

• 内置自动阻抗匹配，负载变化时自动调节，维持工艺功率稳定；

• LCD本地显示面板，参数设置简单，故障代码直观，便于设备维护排查；

• 完备多重保护，过载过温自动报警停机，提升整机运行安全性；

• 支持上位机通讯远程控制，适配自动化产线，方便系统集成；

• 机架式机箱，适配各类真空镀膜、刻蚀、等离子处理设备配套。