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零金属离子污染: 发热体与管路隔离,外部以高纯度 PFA 套管二次包覆,杜绝金属析出与微粒污染,满足 Class 10/100 洁净室标准。
高均匀柔性伴热: 采用柔性发热丝配合高导热铝箔均热层,紧密贴合管壁,消除局部过热点(Hot Spot),防止氟树脂管因局部高温变形老化。
精密 PID 闭环温控: 高精度 RTD/热电偶实时监测管壁温度,毫秒级调节输出功率,动态补偿沿线热损耗。
耐腐性: 耐受浓硫酸(SPM)、(HF)、氨水(SC1)、有机溶剂及强氧化剂等各类湿法腐蚀介质。
节省洁净室空间: 柔性缠绕式设计,配合卡扣固定,无需大型保温箱,安装维护便捷。
半导体湿法清洗/蚀刻: 高纯化学品从中央配液槽(CDS)到机台终端的管道恒温输送。
面板制造(FPD): 蚀刻液、剥离液在输送管路中的加热与保温。
化学供应系统: 确保药液进入反应腔前的温度与浓度绝对稳定。
高纯水系统: 防止管道内因压降吸热而产生微气泡。