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Techvision UVC-200/300:365nm水冷UV-LED晶圆固化系统的低温固化技术突破
更新时间:2026-02-06      阅读:154
产品定位日本Techvision推出的UVC-200/300系列,是专为半导体晶圆UV胶带剥离工艺设计的桌面型UV-LED固化装置。UVC-200对应8英寸晶圆,UVC-300对应12英寸晶圆,另提供全自动Cassette-to-Cassette机型(UVC-200A/300A)。
2. 核心技术创新
  • 365nm单波长冷光源:采用水冷散热高功率LED驱动,输出250mW/cm²,消除传统汞灯的红外热辐射,实现真正的常温照射,保护热敏晶圆
  • 往复扫描曝光:光源横向扫描+晶圆旋转,确保全区域光照均匀,避免局部欠固化
  • 低耗N₂吹扫:内置自动氮气置换,抑制氧气阻聚,气体消耗量比传统系统降低30%
3. 关键参数

指标参数
光源波长365nm
照射强度250mW/cm²(距工件10mm)
支持晶圆200mm/300mm
冷却方式水冷+风冷
光源寿命>20,000小时
手动型尺寸750×640×575mm
4. 应用价值针对晶圆减薄/切割后的UV胶带光降解工艺,实现芯片无损拾取、无残胶剥离。相比2kW高压汞灯,LED方案启动瞬间完成、能耗降低60%以上、无汞环保、光源冷态可维护,是半导体后道制程光固化的技术换代方案。


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