产品定位日本Techvision推出的UVC-200/300系列,是专为半导体晶圆UV胶带剥离工艺设计的桌面型UV-LED固化装置。UVC-200对应8英寸晶圆,UVC-300对应12英寸晶圆,另提供全自动Cassette-to-Cassette机型(UVC-200A/300A)。
2. 核心技术创新
365nm单波长冷光源:采用水冷散热高功率LED驱动,输出250mW/cm²,消除传统汞灯的红外热辐射,实现真正的常温照射,保护热敏晶圆
往复扫描曝光:光源横向扫描+晶圆旋转,确保全区域光照均匀,避免局部欠固化
低耗N₂吹扫:内置自动氮气置换,抑制氧气阻聚,气体消耗量比传统系统降低30%
3. 关键参数
| 指标 | 参数 |
|---|
| 光源波长 | 365nm |
| 照射强度 | 250mW/cm²(距工件10mm) |
| 支持晶圆 | 200mm/300mm |
| 冷却方式 | 水冷+风冷 |
| 光源寿命 | >20,000小时 |
| 手动型尺寸 | 750×640×575mm |
4. 应用价值针对晶圆减薄/切割后的UV胶带光降解工艺,实现芯片无损拾取、无残胶剥离。相比2kW高压汞灯,LED方案启动瞬间完成、能耗降低60%以上、无汞环保、光源冷态可维护,是半导体后道制程光固化的技术换代方案。