1. 产品定位日本加賀テクノ(KAGATECHNO)石英在线加热器,专为半导体湿法工艺中药液循环加热设计,适用于氨水过氧化物(SC-1)、磷酸等腐蚀性药液,应用于氮化硅刻蚀及扩散前清洗工序。
2. 核心技术
3. 关键参数
| 指标 | 参数 |
|---|
| 功率 | 2.2/4.4/6.5kW |
| 电压 | 单相200V |
| 温度 | 室温~160℃ |
| 适用药液 | SC-1、磷酸 |
| 接头 | 3/4英寸石英法兰 |
4. 应用价值直通式结构无液滞留,在线串联于循环回路实现精准温控。相比投浸式加热器,支持不停机维护,热响应更快,是RCA清洗及氮化硅刻蚀等关键工序的高可靠性加热解决方案。