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KAGATECHNO石英在线加热器:半导体药液循环
更新时间:2026-02-06      阅读:134
1. 产品定位日本加賀テクノ(KAGATECHNO)石英在线加热器,专为半导体湿法工艺中药液循环加热设计,适用于氨水过氧化物(SC-1)、磷酸等腐蚀性药液,应用于氮化硅刻蚀及扩散前清洗工序。
2. 核心技术
  • Inconel网目发热体:镍铬铁合金直接熔接于石英筒外壁,耐腐蚀、抗空烧,解决传统绕线加热器断线及气囊积聚导致的局部过热问题
  • 石英双重管结构:内管走药液(零金属污染),外管包裹发热体,即使外管破损也不污染药液
  • 阻燃FRPP外壳:内置温度监测,过热自动保护
3. 关键参数
指标参数
功率2.2/4.4/6.5kW
电压单相200V
温度室温~160℃
适用药液SC-1、磷酸
接头3/4英寸石英法兰
4. 应用价值直通式结构无液滞留,在线串联于循环回路实现精准温控。相比投浸式加热器,支持不停机维护,热响应更快,是RCA清洗及氮化硅刻蚀等关键工序的高可靠性加热解决方案。


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