日本pureron低压力损失金属气体过滤器UCD系列

日本pureron低压力损失金属气体过滤器UCD系列

金属气体过滤器

全部采用SUS316L材质制造，紧凑式设计、高过滤精度、耐高温（460℃）用于ULSI制造的高性能气体过滤器。

• UCD系列： 圆盘状部件过滤精度0.003μm　推荐流量10～100L/min
• RGF系列： 管状部件　过滤精度0.1～10μm　推荐流量40～60L/min
• UCS-M系列： 管状部件　过滤精度0.003μm　推荐流量15～250L/min

 低压力损失金属气体过滤器　UCD系列

• 过滤器材料全部采用SUS316L，不用担心腐蚀和中间产物，同时具备较高的耐热性能。
• 使用氮气（N2）输入，当过滤器输入侧压力为0.2MPa、流量为90SLM时，输出侧压力损失△为0.05MPa。
• 固定或脉动方式下过滤精度经CNC确认达到0.003μm，实现了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。