Name: 日本pureron预处理用全金属气体过滤器RGF系列
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日本pureron预处理用全金属气体过滤器

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型号：RGF系列

更新时间：2024-05-12 | 阅读：1068

详情介绍

日本pureron预处理用全金属气体过滤器RGF系列

预处理用全金属气体过滤器　RGF系列

过滤精度范围宽
可以对应固定或脉冲方式下的0.1～10μm过滤精度。
高耐腐蚀性
过滤器没有采用腐蚀性材料，不用担心被腐蚀或者生成中间产物。
排气特性
和的烘烤加热器并用，APIMS方式测定的排气（水分量）能够达到1.2ppb。继续使用可以达到0.1ppb的水平。过滤器内部的杂质预先采用特殊洗净方式去除，排气性能更加出色。

过滤精度	0.1、0.5、1.0、5.0、10μm 各种
推荐流量	尺寸大小　E 尺寸…40ℓ/min、T 尺寸…60ℓ/min
设计压力	17MPa (2,465PSIG) at20℃	本产品全部经过14.7MPa的耐压测试后出货。但是，依据日本国内的高压气体保安法，使用压力的显示和使用是不超过1MPa。关于1MPa以上的高压煤气认定品，请询问我们。
常用压力	1MPa(145PSIG)未满
容许差压	2MPa(290PSIG) at20℃
使用温度	400℃
外部泄漏量	2×10^-11Pa・m³/sec以下
构成材料	外罩:SUS316L（电解研磨处理）　元素:SUS316L　内表面粗糙度:Rmax0.7μm以下
连接零件	1/4"、3/8"、1/2"　Gasket seal、 Compression seal、其它

全部采用SUS316L材质制造，紧凑式设计、高过滤精度、耐高温（460℃）用于ULSI制造的高性能气体过滤器。