日本pureron高过滤精度全金属气体过滤器UCS-m系列

日本pureron高过滤精度全金属气体过滤器UCS-m系列

金属气体过滤器

全部采用SUS316L材质制造，紧凑式设计、高过滤精度、耐高温（460℃）用于ULSI制造的高性能气体过滤器。

• UCD系列： 圆盘状部件过滤精度0.003μm　推荐流量10～100L/min
• RGF系列： 管状部件　过滤精度0.1～10μm　推荐流量40～60L/min
• UCS-M系列： 管状部件　过滤精度0.003μm　推荐流量15～250L/min

 高过滤精度全金属气体过滤器　UCS-m系列

• 全部材质采用SUS316L不锈钢
• 高清浄度：全部产品在交付前经过内部特殊洗净，通入高纯度氮气的同时进行高温烘烤处理。
• 高流量、高压差下也可以高效去除0.003μm以上的粒子。
• 高内热性 460℃
• 具备10ℓ/min的小流量到250ℓ/min的中流量各种型号。
• 低压力损失:和以往的金属过滤器相比，压力损失非常低，体积小巧但能够处理高流量气体。