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更新时间：2024-05-14 | 阅读：1234
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X射线荧光测量仪 XDV ® -μ WAFER
X射线荧光测量仪 XDV ® -μ WAFER
日本进口fischerX射线荧光测量仪 XDV ® -μ WAFER
它是一种高性能荧光X射线测量设备，配备多毛细管透镜，专门设计用于自动测量晶片的膜厚和材料分析。
| 模型 | XDV-μ晶圆 |
|---|---|
| 测量元件范围 | 铝 (13) -U (92) |
| X射线探测器 | 硅漂移探测器 (SDD) |
| X射线管 | 微调焦管 |
| 初级过滤器 | 4种（可切换） |
| X射线光学系统 | 多毛细管透镜 Φ20µm（选项 Φ10µm） |
| 车身尺寸 | 680 x 900 x 690mm（宽x深x高） |
| 晶圆尺寸 | 兼容 6、8 和 12 英寸 |
| 能量消耗 | 高达 120W |
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