产品概述

核心性能与参数

• 测量原理：塞曼效应双频 He-Ne 激光干涉法，抗环境干扰能力强，适合工业现场长期连续测量

• 激光波长：632.8nm（标准氦氖激光），最小分辨率 0.3nm，测量精度 ±0.05ppm

• 输出功率：0.5mW，频率稳定性优异，长期使用性能稳定

• 测量速度：最高 1.0m/s，支持多轴同步测量，适配高速运动平台

• 工作环境：温度 15~35℃，湿度 < 80% RH（无结露），适配无尘室与车间环境

产品特点

1. 双频稳频技术，抗振动、气流干扰能力强，测量结果稳定可靠

2. 纳米级超高精度，满足半导体、超精密加工的亚微米级位移测量需求

3. 高兼容性设计，可直接替换 HP 5501B 等经典系统，降低改造成本

4. 宽电压输入，适配全球工业场景，连续运行稳定性强

5. 非标准现货，可根据客户需求定制单轴 / 多轴、角度 / 直线 / 平面度等全功能测量系统

美国 Excel Precision 1001F  双频氦氖激光干涉仪 纳米精度位移测量 适用场景

• 半导体 / 液晶面板制造：光刻机、检测设备的位移标定，晶圆 / 玻璃基板产线精度校准

• 精密机械 / 机床领域：超精密机床、坐标测量机的精度检测与补偿

• 科研 / 实验室领域：精密光学实验、材料力学测试的位移测量