一、产品概述
日本北野精机 KML-34 迷你 Z 轴直线导入机，是专为超高真空（UHV）环境设计的精密直线运动机构。它通过密封传动结构，在不破坏腔室真空度的前提下，实现样品台或部件的 Z 轴方向升降与定位，广泛应用于小型真空镀膜设备、表面分析仪器等科研场景。
二、核心特点
✅ 迷你紧凑型设计，适配小型真空腔室体积小巧，占用腔室空间极小，采用标准真空法兰接口，可直接安装在各类小型真空设备上，适配镀膜机、表面分析仪器的空间限制。
✅ 超高真空适配，低污染无出气专为 UHV 环境优化，采用低出气率材料与可靠密封结构，可在 10⁻⁸Pa 级高真空条件下稳定工作，无杂质污染，保障实验环境洁净度。
✅ 精密直线运动，微米级定位精度采用精密机械传动结构，可实现微米级的定位精度，满足样品台高度微调、蒸发源距离控制等高精度实验需求，提升薄膜沉积均匀性与实验重复性。
✅ 波纹管 / 磁流体密封，真空性能可靠采用波纹管或磁流体密封结构，确保运动过程中腔室真空度不受影响，无泄漏风险，适配长期连续实验运行。
✅ 易集成安装，维护便捷标准真空法兰接口设计，无需复杂改造即可集成到现有真空系统中，结构简单可靠，维护成本低。
三、基础参数
| 项目 | 详情 |
|---|
| 品牌 | 北野精机（Kitano Seiki，日本） |
| 型号 | KML-34 |
| 工作原理 | 密封传动结构，外部驱动转化为腔室内直线运动 |
| 适配环境 | 超高真空（UHV）环境 |
| 安装方式 | 标准真空法兰安装 |
| 定位精度 | 微米级 |
| 结构特点 | 迷你紧凑型，低污染设计 |
四、日本北野精机 KML-34 迷你 Z 轴直线导入机 适用场景
真空镀膜设备：样品台 Z 轴升降控制，实现蒸发源与样品的距离微调，优化薄膜沉积均匀性。
表面科学仪器：扫描探针显微镜、俄歇电子能谱仪等设备的样品台精密定位，实现样品高度的精准控制。
材料科学实验：超高真空环境下的样品加热、冷却装置升降，适配原位实验研究需求。
半导体工艺设备：小型真空设备中部件的精密直线驱动，满足低污染、高精度的工艺要求。
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