一、Canon Anelva 氦质谱检漏仪 产品基础信息

二、核心规格参数

三、产品核心特点

1.超高检测灵敏度，捕捉普通检漏方式无法发现的微漏

利用氦分子强穿透性搭配质谱筛选，可以检出极其细微的泄漏，保障超高真空设备能达到设计真空度，适配电离真空计的工作工况。

2.双检测模式，覆盖腔体、独立零部件两类检测需求

真空喷吹适配大型真空腔体；吸枪适配小型密封工件，单台设备即可满足产线、实验室绝大多数检漏场景。

3.内置真空机组，部署灵活

小型工件直接接主机检测；大型自有真空系统可复用原有泵组，仅接入质谱单元即可检漏，改造难度低。

4.适配全系列Anelva真空零部件校验

可检测真空隔离阀、电容/电离真空规、真空管路焊缝法兰密封性能，维保阶段快速定位漏点，缩短真空系统调试周期。

5.工业级联动能力，适配量产质控

漏率超标自动报警，检测数据可归档上传，接入产线PLC实现不合格品自动剔除。

6.优化气路降低氦气消耗

探头、气路结构减少氦气浪费，选配氦气回收系统可以进一步降低长期耗材成本。

7.进气过滤适配工业复杂工况

前置过滤结构阻挡油雾、粉尘进入质谱芯体，适配镀膜车间环境，延长核心部件寿命。

8.支持计量校准，检测结果合规可溯源

搭配标准漏孔定期自检，检测报告可用于工程验收、科研数据归档。

四、适用行业场景

• 真空镀膜：腔体、阀门、焊缝检漏，新机验收、日常维保排查漏点；

• 半导体行业：刻蚀沉积腔体、真空管路密封性检测；

• 真空光学科研：真空单色仪、真空光谱腔体检漏，保障超高真空实验条件；

• 新能源领域：真空退火炉、真空反应舱密封性检测；

• 电子封装：真空密封元器件、锂电封装外壳批量检漏；

• 第三方检测机构：出具具备溯源性的真空密封性检测报告。