一、Canon Anelva 手动真空进气阀 产品基础信息

二、核心规格参数

三、产品核心特点

1.精密手动微调进气，防护腔内精密构件

可缓慢进气泄压，规避大通径球阀快速冲气冲击光学镜片、真空规灯丝、镀膜靶材，适配精密真空系统使用需求。

2.不锈钢低放气结构，适配高真空环境

阀体真空级抛光处理，出气量极低，阀门关闭密封可靠，不会破坏腔体极限真空。

3.一阀两用，兼顾工艺补气、检修泄压

小幅调节阀芯可通入微量工艺气体调整腔内气压；全开即可完成腔体泄压开盖检修。

4.无需外接气源电力，部署灵活

纯机械手动结构，不用布置气管、电线，老旧真空设备改造加装难度很低。

5.易维护模块化密封结构

密封件可单独更换，不用整体更换阀门，降低长期运维开销。

6.可搭配气动隔离阀构建完整气路

抽真空关闭进气阀；泄压先关抽气隔离阀，再开进气阀，形成成熟可靠的真空气路逻辑。

四、适用行业场景

• 真空镀膜：微调氩气分压、腔体缓慢泄压；

• 真空光学：真空光谱仪、单色仪腔体泄压保护光学元件；

• 半导体制造：小型腔体通入保护气体、泄压检修；

• 新能源研发：真空退火、光催化舱气压调控；

• 高校实验：真空系统调压、泄压教学试验。