一、Canon Anelva M‑431HG 宽量程电离真空计 产品基础信息

二、核心规格参数

三、产品核心特点

1.宽量程一体化测量，精简真空管路

优化电离检测结构，单支规管即可覆盖很宽的超高真空区间，搭配电容薄膜真空计就能搭建完整测量链路，减少真空腔体开孔、规管数量，降低系统建设成本。

2.智能灯丝防护，降低耗材损耗

腔体突发漏气真空恶化时，控制器立刻切断灯丝供电，避免离子冲击烧毁阴极，显著延长电离规使用寿命，适配工况波动大的工业产线。

3.双形态安装，适配实验室与工业场景

既可直接放置实验台面使用，也能嵌入工业控制柜集中管控，兼顾科研小试、量产工艺需求。

4.丰富联锁输出，对接真空阀实现自动化

多档真空阈值继电器可联动气动隔离阀、进气阀、真空泵；数字通讯对接上位机、PLC，实现全自动抽气、镀膜工艺流程。

5.通用KF接口，备件兼容性强

规管法兰兼容Anelva同系列真空测量部件，备件采购、旧设备改造适配简单。

6.低电磁干扰，适配精密光学设备

信号、供电做屏蔽处理，运行不会干扰真空腔内光电探测器，适配真空光谱仪这类高精度仪器。

7.分体模块化，维护成本低

规管老化污染后单独更换即可，主控器长期复用，减少整体设备更换支出。

四、Canon Anelva M‑431HG 宽量程电离真空计 适用行业场景

• 真空镀膜：溅射、蒸发腔体高真空在线监测；

• 半导体：刻蚀、沉积腔体超高真空工艺测控；

• 真空光学：真空单色仪、红外光谱仪真空采集；

• 新能源：真空退火、光催化反应舱真空检测；

• 表面分析：SEM、XPS分析设备配套真空测量；

• 高校科研：真空测量相关教学实验。