一、Canon Anelva P-500 Noble 离子泵控制装置 产品基础信息

二、核心规格参数

三、产品核心特点

1.软启动高压输出，延长离子泵使用寿命

开机平缓升压、输出限流，抑制冲击电流与电弧打火，降低离子泵阴阳极损耗，适配长期不间断抽真空工况。

2.依托泵电流自测真空，精简硬件配置

直接通过离子泵电流推算真空数值并展示，日常巡检无需额外真空计；高精度工况可搭配电离真空计校准补偿。

3.丰富工业联锁适配自动化系统

可联动真空阀、工艺电源，真空达标解锁工序、泵故障紧急停机锁止流程，适配量产与科研自动化场景。

4.标准机架布局，集成便捷

可和真空计等测控设备统一装入控制柜，布线规整，适配工业化集成需求。

5.全面电气防护，规避系统重大故障

检测到打火、过流等异常立刻切断高压，输出告警，保护昂贵的离子泵与腔体内部工件。

四、Canon Anelva P-500 Noble 离子泵控制装置 适用行业场景

• 表面分析：XPS、SEM等分析设备离子泵驱动；

• 真空光学：真空光谱仪、单色仪无油超高真空获取；

• 半导体：沉积、离子注入工艺真空维持；

• 精密镀膜：低油污光学薄膜制备真空系统。