一、Canon Anelva M‑311HG 热阴极电离真空计（电离规探头） 产品基础信息

二、核心规格参数

三、Canon Anelva M‑311HG 热阴极电离真空计（电离规探头） 产品核心特点

1.小型化结构适配狭窄安装位

整体尺寸远小于常规电离规，可安装在腔体侧壁、细支管，解决紧凑型真空设备开孔受限的难题。

2.成熟电离架构测量精度稳定

沿用安内尔巴成熟电离检测设计，超高真空区间线性表现优异，满足精密科研、工艺测控要求。

3.低放气腔体适配无油真空系统

玻璃腔体出气量极低，适配离子泵抽取的超高真空环境，不会污染腔体内部。

4.兼容现有M系列控制器，改造成本低

可直接对接已有真空计主机，仅更换探头即可完成设备升级。

四、适用行业场景

• 真空光学：紧凑型真空光谱、单色仪设备；

• 表面分析：扫描电镜、光电子能谱仪真空腔；

• 实验镀膜：小型磁控溅射、蒸发设备；

• 离子泵系统：校正离子泵推算的真空读数。