佳能安内瓦（Canon Anelva）M-311HG 热阴极电离高精度真空计 一、 产品概述

佳能安内瓦（Canon Anelva）M-311HG 热阴极电离高精度真空计 二、 测量原理（热阴极电离法）

1. 电子发射与加速：设备内部的高稳定性热阴极在加热后释放出热电子，电子在栅极电场的加速作用下获得高动能。

2. 气体分子电离：高速运动的电子与真空腔体内的残留气体分子发生碰撞，将其电离为正离子。

3. 离子收集与换算：离子收集极捕获这些正离子并形成微弱的离子流。在恒定的灯丝发射电流下，该离子流的强度与真空腔内的气体绝对压力呈严格正比。设备通过高灵敏度微电流放大电路，将采集到的离子流实时转换为直观的真空度数值显示。

三、 核心技术特点与性能优势

1. 宽量程高灵敏度：具备 $1\times 10^{-7}$ Pa 至 10 Pa 的宽广测量区间，在极低真空侧同样保持了优异的高灵敏度与线性度，适应多种复杂的工艺需求。

2. 极速响应与闭环控制：具备极快的动态响应能力，模拟量输出的信号延迟低于100毫秒。非常适合用于溅射、刻蚀等需要快速闭环控制的真空镀膜与半导体工艺。

3. 工业级安全防护：配备2路外部照射联锁（Interlock）保护端口及脉冲照射触发输入。可安全接入设备主控制系统，在异常状态下自动切断，有效保护设备与精密样品的安全。

4. 数字化远程交互：标配 RS-232C 工业通信接口，支持多种波特率选择，可轻松实现与上位机、PLC的通信，方便技术人员进行远程参数设定、状态监控及数据记录。

四、 主要技术参数

• 测量原理：热阴极电离法（High Precision）

• 真空度测量范围：$1\times 10^{-7}$ Pa ~ 10 Pa

• 工作电源：AC 90V ~ 240V（50/60Hz），宽电压设计，运行稳定

• 功率消耗：约 50VA

• 通信接口：RS-232C（支持 1200 / 2400 / 4800 / 9600 bps 多种波特率）

• 输出信号：高精度模拟量输出（响应时间 < 100ms）

• 联锁接口：2路外部接触输入（含脉冲触发输入）

• 标准安装支架：支持标准支架（约21kg）及长支架（约24kg）两种安装规格