详情介绍
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌系列 | Adwill-Global E series 研磨用表面保护胶带 |
| 产品定位 | 半导体晶圆背面湿式研磨专用正面保护膜 |
| 核心作用 | 阻隔冷却水、磨料粉尘,保护晶圆正面精密电路 |
| 适配晶圆 | 8/12寸硅晶圆、SiC/GaN/GaAs化合物半导体 |
| 配套设备 | 全自动晶圆真空贴合机、一体化晶圆研磨机 |
| 参数项 | 标准规格 |
|---|---|
| 基材 | 高韧性PVC/PE复合基材 |
| 胶系 | 低离子低应力丙烯酸微粘胶 |
| 常规厚度 | 50μm / 80μm / 100μm 多规格可选 |
| 耐温区间 | -10℃ ~ 60℃ 适配水冷研磨工况 |
| 核心特性 | 耐水浸泡、耐研磨压力、剥离无残胶、低翘曲 |
| 污染控制 | 低离子析出,不腐蚀芯片铝垫、钝化层 |
| 卷材规格 | 8寸/12寸晶圆配套标准幅宽卷材 |
| 工艺适配 | 真空自动贴膜→湿式研磨→全自动低温剥离 |
针对晶圆纯水冷却研磨工艺开发,胶带基材与胶粘剂具备优异防水性能,长时间浸泡冷却水不会分层、溶出胶渍,避免水路杂质污染晶圆正面精密线路。
柔和低粘附着力,研磨完成低温平稳剥离,不会拉扯超薄晶圆造成翘曲变形;剥离后芯片焊盘、钝化层无胶残留,不干扰后续刻蚀、引线键合工序。
基材拉伸强度高,研磨设备加压、砂轮高速磨削过程中胶带平整贴合,无起皱、滑移现象,有效阻挡磨料颗粒划伤晶圆电路层。
胶粘剂严格控制钠、氯等离子析出量,不会造成铝垫腐蚀、芯片漏电失效,适配功率半导体、军工、医疗等高可靠性元器件生产。
区分超薄软质晶圆、厚硅片、高硬度SiC碳化硅晶圆专用型号,兼顾真空贴合平整性与后段剥离友好度,客户按需选型。
原厂精密分切卷材,无波浪、无褶皱,可直接上机全自动真空贴合机,高速贴膜不易断带、无气泡,提升晶圆研磨产线稼动率。
提供8寸、12寸晶圆加工专用标准幅宽卷材,开箱即可投入使用,省去人工分切工序,降低胶带物料损耗与人工成本。
功率半导体制造:IGBT、MOSFET、SiC碳化硅晶圆背面研磨正面防护
存储芯片封装厂:NAND、DRAM超薄晶圆减薄贴膜保护
射频通信芯片车间:GaN/GaAs化合物半导体晶圆研磨工序
MEMS传感器产线:光学、压力传感芯片薄化工序保护膜
先进封装研发实验室:2.5D/3D超薄晶圆研磨工艺验证